新型劃片-激光,激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。 由于激光在聚焦上的優點, 聚焦點可小到亞微米數量級, 從而對晶圓的微處理更具優越性, 可以進行小部件的加工; 即使在不高的脈沖能量水平下, 也能得到較高的能量密度, 有效地進行材料加工。
由于紫外激光切割技術在半導體芯片切割中的優勢,國外已經廣泛采用這項工藝技術,特別是在一些高端的芯片 (如薄芯片、GaAs 晶圓)和量產的芯片(如藍光 LED 制造)方面。目前來看紫外激光技術還有很大的待開發潛能,它將在單位晶圓裸片數量和縮短投資回收期方面有進一步的發展,它將為半導體芯片切割開拓出一片嶄新的前景...
太陽能芯片激光劃片機應用于LED紅黃光硅晶圓切割,也用于陶瓷、金屬等特殊材料的切割。技術原理:將激光聚焦于脆性材料表面,利用激光的高峰值能量,瞬間將工作物表面氣化的切割方法。設備特點:多激光點切割技術,提供特殊材料(硅襯底)的高品質加工,可兼容2英寸,4英寸,6英寸的晶圓切割,全自動上下料功能,無人值守式...
近年來激光切割在醫療器械生產應用中已越來越廣泛,由于加工精度高、速度快、非接觸切割、柔性加工等特點,激光切割機在醫療器械業已經成為常用的生產工具,用于對所有常規的材料作焊接、切割和打標等處理。
光刻機和蝕刻機一直都是當前最熱的話題,可以說光刻機是芯片制造的魂,蝕刻機是芯片制造的魄,要想制造高端的芯片,這兩個東西都必須頂尖。
鋰離子電池的生產制造是由一個個工藝步驟嚴密聯絡起來的。大體來說,鋰電池的生產包括極片制造、電芯制作以及電池組裝三部分。在這三個大的工序中,激光切割是其中的關鍵工藝。
激光切割對半導體行業的最大優勢之一是其切割所能提供的精確度。以前,使用常規的方法,必須在半導體上留出空間以便切割,使用激光不會出現此問題,因為有極細的切縫,幾乎不會損失材料。激光切割的另一個好處是,它可以在多個應用程序之間快速切換,從而減少了每個任務之間的空閑時間,并且可以以驚人的速度工作,以適應大...
激光蝕刻機可以分開蝕刻20UN的鉬層、不傷及底層的發電涂層、中層的納米層,并且可以把蝕刻邊緣度控制在2UM以內,以保住鉬層邊緣不和底層納米層融通導致斷路,機器也可以同時蝕刻2層或者全部蝕刻以達到芯片發電效果!
根據中國光伏行業協會的電池片成本構成數據:硅片成本占比65%,非硅成本占比35%,而金屬化工序在電池成本中的占比超過20%,所以研發推動金屬化進步的新技術對非硅降本至關重要。
作為涉及生命安全的產品,醫療設備對電子元器件的精度、效率、可靠性、安全性要求顯著高于消費電子等其他應用領域。激光微加工具有超快、超精密的特性,在醫療器械加工中有著獨特的優勢,尤其是針對具有良好生物相容性材料的微加工有著不可替代的作用。
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