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激光切割藍寶石襯底LED芯片

2021-03-24 返回列表

       LED芯片研制不斷向高效高亮度方向發展。傳統的芯片切割方式如金剛刀劃片,砂輪刀鋸切因其效率低,成品率不高已逐漸落伍,不能滿足現代化生產的需要,目前激光切割方式正逐漸取代傳統切割,成為目前主流切割方式。

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       激光切割又分為表層切割和內部切割,即隱形切割。它采用一定波長的激光聚焦在晶片表面或內部,在極短時間內釋放大量的熱量,使材料熔化甚至氣化,配合激光頭的移動或物件的移動,形成切割痕跡,實現切割的目的。表層切割后,激光產生的高能量瞬間破壞了藍寶石的晶格結構,側面激光灼燒痕跡阻擋了 LED芯片的出光,對芯片外量子效率影響較大。

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       藍寶石襯底LED芯片激光切對LED芯片晶圓沿裂痕方向施以外力,使芯片分隔成獨立的發光單元。本發明對于藍寶石襯底較厚晶圓的切割,能有效提升其切割成品率,并減少了藍寶石斜裂現象。

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