欧美一区a-欧美一区二三区-欧美一区二区三区gg高清影视-欧美一区二区三区久久综-亚洲国产区-亚洲国产人成在线观看

4000-599-559
您的當前位置:首頁?新聞中心?行業資訊

行業資訊

MEMS晶圓是怎么切割的?

2021-03-29 返回列表

      MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)即微電子機械系統,一般由微機械結構、微傳感器、微執行器和控制電路組成,MEMS是通過半導體工藝實現不同能量形式之間的轉換的一種芯片。

0

1

      MEMS晶圓的劃片方法不同于典型IC的劃片。典型IC砂輪劃片是通過砂輪刀片高速旋轉來完成材料的去除,從而實現芯片切割。由于刀片的高速旋轉,往往需要使用純水進行冷卻和沖洗,那么刀片高速旋轉產生的壓力和扭力,純水的沖洗產生的沖擊力以及切割下來的Si屑造成的污染都容易對MEMS芯片中機械微結構造成不可逆的破壞。所以典型IC的砂輪劃片不適用MEMS晶圓的劃片。

2

      激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個脈沖通過光學整形,讓其透過材料表面在材料內部聚焦,在焦點區域能量密度較高,形成多光子吸收非線性吸收效應,使得材料改性形成裂紋。每一個激光脈沖等距作用,形成等距的損傷即可在材料內部形成一個改質層。在改質層位置材料的分子鍵被破壞,材料的連接變的脆弱而易于分開。切割完成后通過拉伸承載膜的方式,將產品充分分開,并使得芯片與芯片之間產生間隙。這樣的加工方式避免了機械的直接接觸和純水的沖洗造成的破壞。目前激光隱形切割技術可應用于藍寶石/玻璃/硅以及多種化合物半導體晶圓。

(本文由超越激光整理原創,轉載須注明出處:www.beyondlaser.com,請尊重勞動成果,侵犯版權必究)

首頁|激光打標機|激光焊接機|應用案例|新聞資訊|服務專區|關于超越|聯系超越
主站蜘蛛池模板: 亚洲精品国产美女在线观看 | 在线一区免费视频播放 | 台湾精品视频在线观看 | 美女脱了内裤张开腿让男人桶网站 | 日本a级片免费看 | 91亚洲精品久久91 | 亚洲欧美成人网 | 酒色影院 | 在线观看视频亚洲 | 久久国产精品二区99 | 高清性色生活片久久久 | 欧美成a人片在线观看久 | 精品日本久久久久久久久久 | 萌白酱国产一区 | 国产午夜不卡在线观看视频666 | 午夜爽爽 | 91精品久久久久含羞草 | 午夜免费理论片a级 | 中文字幕在线日韩 | 亚洲天堂成人 | 香港一级纯黄大片 | 国产高清在线观看视频手机版 | 欧美一级性| 韩国精品一区二区三区四区五区 | 又www又黄又爽啪啪网站 | 国产一级片视频 | 国内精品久久久久久影院老狼 | 日韩黄色一级毛片 | 国产成人高清一区二区私人 | 成人精品综合免费视频 | 一级毛片免费观看 | 国产午夜免费不卡精品理论片 | 99久久精品国产免看国产一区 | 狼人青草久久网尹人 | 亚洲三级在线观看 | 日本天堂视频在线观看 | 在线一区免费播放 | 中文字幕在线观看一区二区 | 国产黄色三级网站 | 国产午夜免费视频片夜色 | 国产一级做a爰片久久毛片 国产一级做a爰片久久毛片99 |