欧美一区a-欧美一区二三区-欧美一区二区三区gg高清影视-欧美一区二区三区久久综-亚洲国产区-亚洲国产人成在线观看

4000-599-559
您的當前位置:首頁?新聞中心?行業資訊

行業資訊

MEMS晶圓是怎么切割的?

2021-03-29 返回列表

      MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)即微電子機械系統,一般由微機械結構、微傳感器、微執行器和控制電路組成,MEMS是通過半導體工藝實現不同能量形式之間的轉換的一種芯片。

0

1

      MEMS晶圓的劃片方法不同于典型IC的劃片。典型IC砂輪劃片是通過砂輪刀片高速旋轉來完成材料的去除,從而實現芯片切割。由于刀片的高速旋轉,往往需要使用純水進行冷卻和沖洗,那么刀片高速旋轉產生的壓力和扭力,純水的沖洗產生的沖擊力以及切割下來的Si屑造成的污染都容易對MEMS芯片中機械微結構造成不可逆的破壞。所以典型IC的砂輪劃片不適用MEMS晶圓的劃片。

2

      激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個脈沖通過光學整形,讓其透過材料表面在材料內部聚焦,在焦點區域能量密度較高,形成多光子吸收非線性吸收效應,使得材料改性形成裂紋。每一個激光脈沖等距作用,形成等距的損傷即可在材料內部形成一個改質層。在改質層位置材料的分子鍵被破壞,材料的連接變的脆弱而易于分開。切割完成后通過拉伸承載膜的方式,將產品充分分開,并使得芯片與芯片之間產生間隙。這樣的加工方式避免了機械的直接接觸和純水的沖洗造成的破壞。目前激光隱形切割技術可應用于藍寶石/玻璃/硅以及多種化合物半導體晶圓。

(本文由超越激光整理原創,轉載須注明出處:www.beyondlaser.com,請尊重勞動成果,侵犯版權必究)

首頁|激光打標機|激光焊接機|應用案例|新聞資訊|服務專區|關于超越|聯系超越
主站蜘蛛池模板: 欧美在线高清 | 久久最新视频 | 亚洲成a人片在线网站 | 久久久99精品免费观看精品 | 久久久亚洲欧洲日产国码二区 | 美女黄色一级片 | 成人欧美视频在线观看播放 | 久久a级片 | 亚洲成人综合网站 | 免费特黄级夫费生活片 | 亚洲欧美另类日本久久影院 | 国产亚洲精品久久久久久午夜 | 日韩精品亚洲一级在线观看 | 国产精品亚洲专一区二区三区 | 精品视频一区二区三区免费 | 国产精品无码久久久久 | 自拍 欧美 在线 综合 另类 | 点击进入不卡毛片免费观看 | 欧美午夜视频一区二区 | 亚洲一区高清 | 看黄免费网站 | 伊人久久大香线焦在观看 | 手机在线观看精品国产片 | 亚洲视频在线免费看 | 国产精品成人自拍 | 福利社在线 | 在线播放一级片 | 美国三级在线观看 | 国产日韩欧美视频 | 波多野结衣中文无毒不卡 | 欧美videos娇小 | 亚洲在线天堂 | 在线亚洲黄色 | 欧美成人国产一区二区 | 久草在线观看资源 | 久久永久免费 | 成人久久伊人精品伊人 | 一级做a爰片性色毛片小说 一级做a爰片性色毛片中国 | 性xxx69xxx视频在线观看 | 视频一区 欧美 | 国产亚洲自拍一区 |